Determinacao da temperatura de uma tira de filme fino de metal aquecida por efeito joule e sua aplicacao em metodos rapidos de caracterizacao do mecanismo de eletromigracao e na determinacao da...

• Processo: 99/09688-6
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de janeiro de 2000
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2001
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Luiz Carlos Molina Torres
• Beneficiário: Luiz Carlos Molina Torres
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Circuitos integrados
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Circuitos Integrados | Eletromigracao | Filmes Finos De Metal | Filmes Finos Isolantes | Inteconexoes Metalicas | Tecnologia Do Silicio

Resumo

Este projeto de pesquisa objetiva o desenvolvimento de metodologias para o levantamento da temperatura de uma tira de filme fino de metal, construída sobre um substrato de silício previamente oxidado e aquecida por efeito Joule como conseqüência da condução de uma alta densidade de corrente elétrica (1-10 MA/cm2). Em seguida esta sistemática será aplicada no decorrer do projeto às duas seguintes linhas de pesquisa: Monitoramento da temperatura de estruturas submetidas a testes acelerados de eletro migração. Determinação da condutividade térmica de filmes finos de material isolante (AU)