Estudos de descargas de plasmas de RF com DC

• Processo: 06/05233-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de fevereiro de 2007
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 2008
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Munemasa Machida
• Beneficiário: Munemasa Machida
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Espectroscopia Plasma (microeletrônica) Descarga elétrica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Fisica Dos Fluidos | Espectroscopia em Plasmas

Resumo

Utilizando um dispositivo capaz de produzir um plasma com descargas de tensão contínua(DC) e de rádio frequência (RF), simultaneamente ou não, são propostos os estudos das características VxI da formação de plasma; fenômeno de histeresis na transição das regiões escura e de luminescente; variação das densidades e temperaturas bem como distribuição energética nas descargas DC e RF; utilizando sondas e um espectrômetro multicanal em diferentes tipos de gás plasma. (AU)