| Processo: | 07/00775-1 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Regular |
| Data de Início da vigência: | 01 de julho de 2007 |
| Data de Término da vigência: | 30 de setembro de 2009 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Circuitos Elétricos, Magnéticos e Eletrônicos |
| Pesquisador responsável: | Marco Isaías Alayo Chávez |
| Beneficiário: | Marco Isaías Alayo Chávez |
| Instituição Sede: | Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Dispositivos ópticos Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD) Silício |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Dispositivos ópticos e eletro-ópticos | Guias de onda | Moems | Óptica Integrada | Oxinitreto de silício | Plasma CVD | Dispositivos ópticos para sensoriamento e telecomunicações |
Resumo
Este projeto de pesquisa pretende dar continuidade ao trabalho de desenvolvimento e caracterização de dispositivos ópticos, termo-ópticos, eletro-ópticos e mecano-ópticos usando compostos de silício depositados pela Técnica de Deposição química assistida por plasma (PECVD). Este trabalho vem sendo desenvolvido dentro do departamento de Engenharia de Sistemas Eletrônicos da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo. Basicamente, o projeto consiste na simulação, fabricação e caracterização de dispositivos ópticos como: guias de onda convencionais e ARROW, Sensor termo-óptico usando interferômetro Mach-Zehnder, filtros interferenciais baseados em compostos de silício e portas ópticas digitais baseadas em cantilevers termo-mecânicos. (AU)
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