Espectroscopia de massa e análise de energia de espécies ionizados em plasmas tecnológicos

• Processo: 95/09603-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Jovens Pesquisadores
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 1996
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 1998
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Rogério Pinto Mota
• Beneficiário: Rogério Pinto Mota
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia (FEG). Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus de Guaratinguetá. Guaratinguetá , SP, Brasil
• Assunto(s): Descarga elétrica Plasma (microeletrônica) Hidrocarbonetos Espectroscopia de massa
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Descargas Eletricas | Especies Quimicas | Espectroscopia De Massa | Plasma | Vacuo
• Publicação FAPESP: https://media.fapesp.br/bv/uploads/pdfs/Investindo...pesquisadores_268_203_203.pdf

Resumo

Neste trabalho pretende-se estudar a evolução molecular, as partículas neutras e ionizadas geradas em plasmas de hidrocarbonetos, siloxanos excitados por corrente contínua e radiofrequência. Com estes resultados serão modeladas as funções de distribuição que juntamente com a concomitante investigação destes plasmas por espectroscopia de emissão, poderão induzir na confecção de filmes finos subprodutos de alta qualidade, usados como interesse tecnológico. (AU)