Recuperação e modernização da infraestrutura dos laboratórios do Centro de Componentes Semicondutores - CCS - UNICAMP

• Processo: 94/05320-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura
• Data de Início da vigência: 01 de março de 1995
• Data de Término da vigência: 31 de agosto de 1996
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Circuitos Elétricos, Magnéticos e Eletrônicos
• Pesquisador responsável: Luiz Carlos Kretly
• Beneficiário: Luiz Carlos Kretly
• Instituição Sede: Centro de Componentes Semicondutores (CCS). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Recursos para a pesquisa Infraestrutura Equipamentos e provisões

Resumo

Este projeto objetiva a reforma de algumas instalações dos laboratórios de processos convencionais do Centro de Componentes Semicondutores CCS - UNICAMP e a complementação de equipamentos de suporte para os dois principais sistemas de microeletrônica: o sistema de litografia por feixe de elétrons e o sistema implantador de íons. (AU)