Projeto, microfabricação e caracterização de osciladores microeletromecânicos com acionamento eletromagnético

• Processo: 00/10487-4
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de janeiro de 2001
• Data de Término da vigência: 29 de fevereiro de 2004
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Luiz Otávio Saraiva Ferreira
• Beneficiário: Luiz Otávio Saraiva Ferreira
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Mecânica (FEM). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Eletromagnetismo Feixes ópticos Silício
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Defletor De Laser | Mems | Micro-Eletro-Mecanica | Scanner | Silicio

Resumo

Propõe-se, ao longo de dois anos, realizar-se o projeto, microfabricação e caracterização de defletores de feixes de luz de silício com acionamento eletromagnético, em cujo rotor, suspenso por barras de torção, haverá um espelho e uma bobina, e em cujo encapsulamento haverá um circuito magnético gerador de campos magnéticos pulsantes ou oscilantes. O dispositivo deverá apresentar mínimo ângulo de deflexão do espelho de 5 graus pico-a-pico à freqüência de ressonância mínima de 1,5kHz, e fator de qualidade maior que 200. (AU)

Patente(s) depositada(s) como resultado deste projeto de pesquisa