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Projeto, microfabricação e caracterização de osciladores microeletromecânicos com acionamento eletromagnético

Processo: 00/10487-4
Linha de fomento:Auxílio à Pesquisa - Regular
Vigência: 01 de janeiro de 2001 - 29 de fevereiro de 2004
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Luiz Otávio Saraiva Ferreira
Beneficiário:Luiz Otávio Saraiva Ferreira
Instituição-sede: Faculdade de Engenharia Mecânica (FEM). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
Assunto(s):Eletromagnetismo  Feixes ópticos  Silício 

Resumo

Propõe-se, ao longo de dois anos, realizar-se o projeto, microfabricação e caracterização de defletores de feixes de luz de silício com acionamento eletromagnético, em cujo rotor, suspenso por barras de torção, haverá um espelho e uma bobina, e em cujo encapsulamento haverá um circuito magnético gerador de campos magnéticos pulsantes ou oscilantes. O dispositivo deverá apresentar mínimo ângulo de deflexão do espelho de 5 graus pico-a-pico à freqüência de ressonância mínima de 1,5kHz, e fator de qualidade maior que 200. (AU)

Patente(s) depositada(s) como resultado deste projeto de pesquisa

SCANNER RESSONANTE PLANAR COM ATUAÇÃO INDUTIVA FORTEMENTE ACOPLADA PI0801780-8 - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) . Luiz Cláudio Marangoni de Oliveira; Luiz Otávio Saraiva Ferreira - 12 de fevereiro de 2008