Simulação numérica em plasmas frios através do método PIC-MCC

• Processo: 00/11777-6
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de janeiro de 2001
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2001
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Marisa Roberto
• Beneficiário: Marisa Roberto
• Instituição Sede: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). Ministério da Defesa (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Plasma (microeletrônica) Simulação Método de Monte Carlo Colisões Argônio
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Descargas Rf Capacitivas | Metodo Monte Carlo | Metodo Particle In Cell | Simulacao Por Particulas

Resumo

Neste projeto, propõe-se estudar descargas DC e RF capacitivas usando gases puros, tais como argônio e mercúrio, e misturas de argônio com oxigênio e argônio com mercúrio, através do método de simulação por partículas chamado PIC/MCC (Particle in Cell/Monte Cada Collision). Este método vem sendo desenvolvido e os códigos aprimorados pelo PTSG (Plasma Theory and Simulation Group) da Universidade da Califórnia em Berkeley... Uma das motivações para a realização deste projeto vem do fato de que plasmas com misturas de argônio e oxigênio são bastante utilizadas na área de processamento de materiais a plasma. O pleno conhecimento das condições da descarga, obtidas via simulação, é condição indispensável para o desenvolvimento das diversas técnicas de processamento existentes. O conhecimento gerado neste projeto terá aplicação no grupo de Física de Plasmas do ITA, que possui reatores a plasma em operação para estudo de deposição e corrosão de materiais a plasma. Também se propõe o estudo de misturas de argônio com mercúrio, já que tais misturas são muito usadas para o estudo da eficiência de lâmpadas fluorescentes. (AU)