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Sistema de condicionamento de ar para sala de crescimento epitaxial

Resumo

O projeto visa a troca do sistema de condicionamento de ar da sala de crescimento epitaxial. O sistema de crescimento epitaxial por feixe molecular é a principal área de atividade de grupo de Física dos Semicondutores. O sistema pleiteado é essencial para o bom andamento das pesquisas atuais. (AU)

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