Manutenção de sala limpa para nanofabricação

• Processo: 96/11346-8
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura - Gerais
• Data de Início da vigência: 01 de junho de 1997
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 1997
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física
• Pesquisador responsável: Euclydes Marega Junior
• Beneficiário: Euclydes Marega Junior
• Instituição Sede: Instituto de Física de São Carlos (IFSC). Universidade de São Paulo (USP). São Carlos , SP, Brasil
• Assunto(s): Projetos de infraestrutura Infraestrutura de pesquisa Recursos para a pesquisa Infraestrutura

Resumo

O projeto de infraestrutura visa a manutenção da sala limpa classe 1000 do laboratório de nanofabricação do grupo de Física dos Semicondutores. O laboratório de nanofabricação tem como objetivo principal o processamento litográfico de heteroestruturas obtidas através da técnica de crescimento epitaxial (MBE), essencial para as pesquisas realizadas atualmente. Este projeto resume-se basicamente: I) manutenção preventiva do sistema de purificação de ar. II) aquisição de material especial para a sala limpa (ex. material de limpeza e vestimenta apropriada). (AU)