Implantação de um sistema automatizado de circulação de N2 líquido no reator de epitaxia química em vácuo (CBE)

• Processo: 98/09180-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura - Gerais
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 1998
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 1999
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Mauro Monteiro Garcia de Carvalho
• Beneficiário: Mauro Monteiro Garcia de Carvalho
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Projetos de infraestrutura Infraestrutura de pesquisa Recursos para a pesquisa Infraestrutura

Resumo

O projeto visa diminuir o consumo LN2 no laboratório de crescimento epitaxial por CBE. Para isto, estamos solicitando um sistema de controle do fluxo de LN2 que refrigera a câmara. Este sistema possui linhas isoladas a vácuo e controle de fluxo eletrônico. Com a grande redução de consumo pretendemos deixar o sistema permanentemente refrigerado (24h/dia) nos períodos de produção. (AU)