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A 60kv / 10a pulsed power supply for a plasma immersion Ion Implantation experiment

Processo: 99/07780-2
Modalidade de apoio:Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
Data de Início da vigência: 19 de setembro de 1999
Data de Término da vigência: 23 de setembro de 1999
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Circuitos Elétricos, Magnéticos e Eletrônicos
Pesquisador responsável:José Osvaldo Rossi
Beneficiário:José Osvaldo Rossi
Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Hard Tube | High Voltage | Ion Implantation | Plasma | Power Supply | Pulse Generator
Matéria(s) publicada(s) na Agência FAPESP sobre o auxílio:
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