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The effect of si-substrate on the optical characterization of ge nanostructures obtained by lpcvd.

Processo: 07/03927-7
Modalidade de apoio:Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
Data de Início da vigência: 03 de setembro de 2007
Data de Término da vigência: 06 de setembro de 2007
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Ioshiaki Doi
Beneficiário:Ioshiaki Doi
Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
Assunto(s):Filmes finos 
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Filmes Finos | Lpcvd | Nanoestruturas De Ge | Sige Poli | Materiais e Componentes Semicondutores
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