Improved density of states and effective charge density in si/pecvd sioxny interface.

• Processo: 08/04797-2
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 01 de setembro de 2008
• Data de Término da vigência: 04 de setembro de 2008
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Katia Franklin Albertin Torres
• Beneficiário: Katia Franklin Albertin Torres
• Instituição Sede: Pessoa Física
• Assunto(s): Microeletrônica Sistemas microeletromecânicos Semicondutores
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Dispositivos Semicondutores | Mems | Microeletronica | Novos Materiais E Dispositivos | Microeletrônica