| Processo: | 11/50780-7 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil |
| Data de Início da vigência: | 30 de agosto de 2011 |
| Data de Término da vigência: | 02 de setembro de 2011 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Giuseppe Antonio Cirino |
| Beneficiário: | Giuseppe Antonio Cirino |
| Instituição Sede: | Centro de Ciências Exatas e de Tecnologia (CCET). Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). São Carlos , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Sistemas microeletromecânicos |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Fourier Optics | Mems | Microlens Array | Microlithography | Novolak Type Resist | Thick Resist |
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