Diffractive optical element applied to proximity exposure lithography exploring partial light coherence.

• Processo: 10/51023-2
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 27 de setembro de 2010
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2010
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Giuseppe Antonio Cirino
• Beneficiário: Giuseppe Antonio Cirino
• Instituição Sede: Centro de Ciências Exatas e de Tecnologia (CCET). Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). São Carlos , SP, Brasil
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Diamond Like Carbon | Parcial Coherence | Phase Shift Mask | Photolothography | Proximity Printing