| Processo: | 95/00220-0 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior |
| Data de Início da vigência: | 05 de abril de 1995 |
| Data de Término da vigência: | 07 de abril de 1995 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Patrick Bernard Verdonck |
| Beneficiário: | Patrick Bernard Verdonck |
| Instituição Sede: | Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Microeletrônica Corrosão por plasma Contaminação |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Contaminacao | Corrosao Por Plasma | Microeletronica | Trincheiras Em Silicio |
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