Study of power balance in electronegative capacitively coupled plasmas

• Processo: 03/08461-5
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 08 de setembro de 2003
• Data de Término da vigência: 11 de setembro de 2003
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Patrick Bernard Verdonck
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Corrosão Silício
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao | Microestruturas | Plasma | Silicio