Implantação Iônica de Baixa Energia em Polímeros para Desenvolvimento de Camadas Compósitas Condutoras Litografáveis

• Processo: 08/04986-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de junho de 2009
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 2009
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Beneficiário: Fernanda de Sá Teixeira
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Fotolitografia Desenvolvimento de novos materiais
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Compósitos isolante-contutor | fotolitografia | Implantação Iônica por plasma | Litografia por feixe de elétrons | Percolação elétrica | Novos Materiais

Resumo

Eletrônica utilizando polímero em substituição ao silício é uma nova área de pesquisa com perspectivas econômicas promissoras. Compósitos de polímeros com partículas metálicas apresentam interessantes propriedades elétricas, magnéticas e ópticas e têm sido produzidos por uma grande variedade de técnicas. Implantação iônica de metais utilizando plasma é um dos métodos utilizados para obtenção desses compósitos condutores. Neste trabalho será realizada implantação iônica de baixa energia em PMMA e SU-8, utilizando plasma. Esses polímeros são de grande importância tecnológica pois são largamente utilizados como resistes em litografias por feixe de elétrons, raios-X, íons e deep-UV. Como resultado da implantação iônica de baixa energia em PMMA e SU-8 espera-se a formação de uma camada nanométrica de material condutor. Esse novo material, denominado compósito isolante-condutor, permitirá criar micro e nanodispositivos através de técnicas largamente utilizadas em microeletrônica. Medidas elétricas serão realizadas in situ em função da dose de íons metálicos implantada, o que permitirá um estudo das propriedades de transporte desses novos materiais. Simulações utilizando o programa TRIDYN serão realizadas com o objetivo de obter a profundidade e o perfil da implantação dos íons. Ainda como parte deste projeto, as camadas condutoras formadas nos polímeros serão caracterizadas quanto a manutenção das suas características de foto e elétron resistes.

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

TEIXEIRA, Fernanda de Sá. Implantação iônica de baixa energia em polímero para desenvolvimento de camadas compósitas nanoestruturadas condutoras litografáveis.. 2010. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.