| Processo: | 09/07810-2 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Programa Capacitação - Treinamento Técnico |
| Data de Início da vigência: | 01 de junho de 2009 |
| Data de Término da vigência: | 31 de julho de 2009 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica |
| Pesquisador responsável: | Mauro Sergio Dorsa Cattani |
| Beneficiário: | Márcio Roberto da Silva Oliveira |
| Instituição Sede: | Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Vinculado ao auxílio: | 08/09979-1 - Modificação de superfícies utilizando plasma, AP.R |
| Assunto(s): | Filmes finos Litografia |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Filmes finos | Litografia | Litografia por feixe de elétrons |
Resumo O plano de trabalho para esta bolsa de Treinamento Técnico TT-3 consiste em treinar e familiarizar o técnico de nível superior com equipamentos de ponta na área de deposição de filmes finos, utilizando plasmas, e na área de litografia por feixe de elétrons. | |
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