Introdução às técnicas de microfabricação

• Processo: 13/19799-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 2013
• Data de Término da vigência: 31 de agosto de 2014
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Gustavo Silva Wiederhecker
• Beneficiário: Laís Fujii dos Santos
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 12/17765-7 - Nanofotônica em semicondutores do Grupo IV e III-V, AP.JP
• Assunto(s): Nanofotônica Microfabricação Fotônica Litografia Optomecânica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Litografia | Microfabricação | nanofotônica | Optomecânica | fotônica

Resumo

A fabricação de microestruturas consiste em gravar um padrão litográfico sobre um substrato, utilizando máscaras ópticas ou feixe de elétrons. Neste estágio de iniciação científica a candidata irá familiarizar-se com técnicas de litografia eletrônica a fim de fabricar microcavidades ópticas. Também caracterizaremos estas microcavidades experimentalmente, utilizando técnicas já dominadas pela aluna.