Fabricacao e caracterizacao eletrica de ponteiras de emissao de campo em alto vacuo.

• Processo: 02/02374-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de maio de 2002
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 2003
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Marco Antonio Robert Alves
• Beneficiário: Lésnir Ferreira Porto
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 00/04585-3 - Microdispositivos de emissao de campo a vacuo., AP.JP
• Assunto(s): Dispositivos eletrônicos Técnicas de caracterização elétrica Microfabricação Vácuo
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao Eletrica | Corrosao Ansiotropica | Dispositivos Eletronicos | Microfabricacao | Ponteiras De Emissao | Vacuo

Resumo

Na Unicamp, particularmente no Laboratório de Plasma da FEEC (Faculdade de Engenharia Elétrica e Computação), há um projeto em desenvolvimento financiado pela FAPESP, (Microdispositivos de Emissão de Campo a Vácuo - Processo nº.: 2000/04585-3), que tem como objetivo a fabricação e caracterização elétrica de microdispositivos de emissão de campo a vácuo. Dentre as várias etapas do projeto que estão sendo realizadas, podemos ressaltar a fabricação de ponteiras de emissão de elétrons em substrato de silício. A próxima etapa será o afinamento das ponteiras. E por isso esse projeto tem como objetivo estudar o comportamento das curvas características I x V (corrente-tensão) das ponteiras de emissão de elétrons levando em consideração o afinamento das ponteiras. O projeto será dividido em duas partes: a) Fabricação das ponteiras de emissão sobre substrato de Silício. b) Caracterização elétrica das ponteiras de emissão de campo. O objetivo é estudar o comportamento físico das ponteiras, de emissão de elétrons, através do levantamento das características elétricas, visando obter uma baixa tensão de operação e estabilidade de emissão. (AU)