Desenvolvimento e caracterizacao de "mems" eletrotermomecanicos projetados por otimizacao topologica.

• Processo: 02/05765-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de dezembro de 2002
• Data de Término da vigência: 30 de novembro de 2004
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Mecânica - Projetos de Máquinas
• Pesquisador responsável: Emílio Carlos Nelli Silva
• Beneficiário: Paulo Henrique de Godoy
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microfabricação Sistemas microeletromecânicos Otimização topológica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Microatuadores | Microfabricacao | Micromecanismos | Otimizacao Topologica

Resumo

Esse projeto visa a caracterização experimental e computacional de microatuadores e microposicionadores eletrotermomecânicos projetados por Otimização Topológica (OT), bem como estabelecer o ciclo completo do desenvolvimento, compreendendo as etapas de projeto e simulação, febricação e caracterização. Tais dispositivos se constituem basicamente de mecanismos flexíveis, onde a flexibilidade da estrutura é a fonte de movimento ao invés da presença de juntas e pinos. Os micromecanismos empregados serão projetados no grupo por OT. A fabricação será conduzida no Laboratório de Microfabricação do LNLS, empregando-se as rotas de microfabricação utilizadas na microeletrônica e também à tecnologia de moldes microfabricados (LIGA). O principal ponto de contribuição do trabalho está localizado na caracterização (experimental e simulação computacional) dos micromecanismos fabricados. Eles serão caracterizados tanto pela força quanto pelo deslocamento gerado, sendo os resultados experimentais comparados com os resultados obtidos na simulação computacional pelo método de elementos finitos. Nas medições de força, microsensores poderão ser desenvolvidos; e no caso dos deslocamentos, medidas estáticas/quasi-estáticas e dinâmicas serão realizadas por um sistema óptico e por interferometria laser, respectivamente. Como resultado direto do projeto, todo o conhecimento obtido será empregado para difusão da tecnologia e para estudos futuros em outras formas de atuação de micromecanismos. (AU)