Modelagem, análise, construção e testes de micro e meso osciladores mecânicos com atuação acústica para utilização em scanners ópticos

• Processo: 01/12200-7
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de julho de 2002
• Data de Término da vigência: 31 de março de 2005
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Mecânica - Mecânica dos Sólidos
• Pesquisador responsável: Luiz Otávio Saraiva Ferreira
• Beneficiário: Khaled Mohamed Ahmida
• Instituição Sede: Centro de Componentes Semicondutores (CCS). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Método dos elementos finitos Silício
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Dinamica | Micro Estruturas | Micro Sistemas | Otimizacao | Silicio

Resumo

As técnicas de modelagem dinâmica, numérica e experimental, para micro-estruturas, são atualmente o assunto de trabalho de pesquisa intensiva. Um dos desafios na tecnologia de micro-sistemas é sua modelagem estrutural, particularmente a caracterização de seu comportamento dinâmico, essencial na maioria das aplicações. A caracterização dinâmica destes sistemas é a questão chave no processo de projeto e otimização de tais sistemas. As técnicas para a modelagem dinâmica de MEMS vem, atualmente, ganhando atenção crescente da comunidade científica e são sujeitas à pesquisa intensiva, mas resta muito a fazer e muito pouco ou quase nada foi feito no Brasil até aqui. Este projeto tem por objetivo desenvolver técnicas de caracterização dinâmica de microestruturas que possam ser utilizadas para a otimização do projeto de micro-sistemas. O objetivo principal se concentra na caracterização dinâmica de um micro-sistema monolítico de cristal de silício. Serão investigadas técnicas de modelagem numérica e técnicas experimentais de identificação. Será feita a otimização da forma deste micro-sistema através de técnicas baseadas no método dos elementos finitos. Este projeto soma a experiência de grupo de pesquisa do Centro de Componentes Semicondutores com a infra-estrutura e os aparelhos de medição óptica de vibração do Lab. de Vibro-acústica da FEM/Unicamp. (AU)