Fabricação de placas de microbocais sônicos de diamante com acionamento elétrico

• Processo: 00/05829-3
• Modalidade de apoio: Bolsas no Exterior - Pesquisa
• Data de Início da vigência: 05 de dezembro de 2000
• Data de Término da vigência: 04 de março de 2001
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Beneficiário: Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
• Pesquisador Anfitrião: Ian G. Brown
• Instituição Sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Instituição Anfitriã: Lawrence Berkeley National Laboratory, Estados Unidos
• Assunto(s): Diamante Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Cvd | Diamante | Filmes Finos | Microbocais

Resumo

Bocais sônicos são medidores/controladores de vazão de gases que utilizam o fenômeno da blocagem de escoamento. A proposta deste projeto de pesquisa consta do desenvolvimento de um processo para fabricação de placas contendo diversos microbocais sônicos de diamante, com controle de abertura e fechamento seletivo, através de acionamento elétrico. Este tipo de dispositivo é genericamente conhecido como "Micro Electro Mechanical Systems" (MEMS). A metodologia consta de utilizar moldes em silício, com microestruturas gravadas em sua superfície, para deposição de diamante e posterior dissolução do substrato. O micro controle de abertura e fechamento se baseia no efeito eletrostático de atração ou repulsão de um filme semi-suspenso próximo à entrada do microbocal. (AU)