Caracterização de multicamadas TiNxOy/TiO2 crescidas por deposição química de organometálicos em fase vapor a baixa expressão (LP-MOCVD)

• Processo: 00/12842-6
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2001
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2003
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Lisandro Pavie Cardoso
• Beneficiário: Thalita Chiaramonte
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Difração por raios X Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Difracao De Raios X | Filmes Finos | Tensoes Em Filmes

Resumo

Pretendemos, neste projeto, realizar a caracterização das camadas finas e multicamadas do sistema TiNxOy/TiO2 crescidas por LP-MOCVD sobre substratos monocristalinos de Si(001), safira (1-102) e outros, utilizando técnicas de difração de raios-X. Análises com difratometria de raios-X em geometria para filmes finos com incidência rasante, mapeamento do ângulo de Bragg e refletometria de raios-X estão previstas, para gerar informações importantes e complementares sobre as tensões internas, perfeição cristalina, qualidade e rugosidade das interfaces nas amostras. Além disso, se for obtido o crescimento epitaxial desse sistema, devemos utilizar para a sua caracterização, curvas de rocking e particularmente a difração múltipla de raios-X, em que os casos de difração Bragg-Superfície (BSD) com o feixe secundário sendo difratado paralelamente à superfície da camada e/ou substrato (interface), deverão ser de grande utilidade para a investigação da perfeição cristalina superficial da camada e do substrato, informação não disponível por outras técnicas. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

CHIARAMONTE, Thalita. Caracterização de multicamadas TiO2/TiNxOy por técnicas de difração de raios-X. 2003. Dissertação de Mestrado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin Campinas, SP.