Crescimento de diamante: CVD ativado por cloro

• Processo: 94/03945-3
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 1995
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 1997
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
• Pesquisador responsável: Evaldo Jose Corat
• Beneficiário: Rita de Cássia Mendes de Barros
• Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Diamantes CVD Halogênios Cloro Espectrometria de massas
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Cloro | Diamante - Cvd | Espectrometria De Massa | Hidrogenio Atomico | Jato Molecular | Radicais

Resumo

É proposta a construção de um reator de crescimento de diamante-CVD com ativação por halogênio. Vão ser feitos estudos paramétricos e de caracterização para otimização do crescimento neste reator. Serão feitos estudos da cinética química da fase gasosa no reator, com medidas das frações molares de espécies estáveis e radicais por espectrometria de massa e, também, com um modelamento do processo. (AU)