Desenvolvimento de um microdetector de condutividade térmica

• Processo: 99/01230-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 1999
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 2001
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Rogério Furlan
• Beneficiário: Douglas Melman
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Condutividade térmica Contaminantes emergentes Gases
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Analise De Gas | Microdetector | Microeletronica | Microestrutura

Resumo

Este trabalho visa o estudo, desenvolvimento e caracterização de um microdetector de condutividade térmica para utilização na detecção de contaminantes presentes em um gás. Será definida e desenvolvida uma microestrutura utilizando-se tecnologia de microeletrônica e outras tecnologias específicas de fabricação de Microssistemas Eletromecânicos. (AU)