Desenvolvimento de membranas e construção de sensor de pressão utilizando pós-processamento

• Processo: 97/03819-6
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de julho de 1997
• Data de Término da vigência: 30 de junho de 2001
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Edgar Charry Rodriguez
• Beneficiário: Humber Furlan
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Microsistemas Eletromecanicos | Sensores

Resumo

Apresentamos aqui, uma proposta de tese de doutoramento na área de MEMS, intitulada "Desenvolvimento de membranas e construção de sensores de pressão utilizando pós-processamento. Esta proposta é uma continuação dos trabalhos que vem sendo desenvolvidos no Laboratório de Sistemas Integrados (LSI) da Divisão de Micro-sistemas Integrados (DMI) da Escola Politécnica da USP (EPUSP) que consta da fabricação do protótipo de um sensor de pressão piezoressitivo integrado utilizando o pós-processamento. O desenvolvimento do trabalho de mestrado cuja tema é "Proposta de implementação de membranas em sensores de pressão a elementos piezoresistivos utilizando a técnica de pós-processamento", iniciou um trabalho de corrosão anisotrópica e condicionamento deste para suportar as necessidades do pós-processamento. Com ele foi possível, ainda, construir diafragmas cuja espessuras eram controladas pelo tempo de processo. Como esse dispositivo (sensor) é destinado a aplicações biomédicas, visamos conseguir altíssima confiabilidade e precisão. Para isso, haverá a necessidade de condicionarmos o sistema de corrosão anisotrópica do silício produzido anteriormente, com recursos de freamento eletroquímico (Eletrochemical Etching-stop), para resolver os problemas da imprevisão de espessura nas lâminas entregues pela "foundry" e, deverá ser estudada a probabilidade de invasões de íons de potássio nos circuitos de tratamento de sinais do sensor. Com o desenvolvimento deste trabalho teremos condições de abraçar o universo de construções de micro-sistemas eletromecanicos (MEMS) para diversas aplicações, utilizando a técnica de pós-processamento. (AU)