Aplicação de sondas eletrostáticas na caracterização de processos de corrosão por plasma

• Processo: 96/00842-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de junho de 1996
• Data de Término da vigência: 31 de maio de 1998
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Giuseppe Antonio Cirino
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Plasma (microeletrônica) Sondas eletrostáticas
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao | Microeletronica | Plasma | Sonda Eletrostatica

Resumo

Neste trabalho será feito o estudo, projeto, montagem e a caracterização de alguns tipos de sondas eletrostáticas. Depois, estas sondas serão aplicadas no estudo de processos de corrosão por plasma, usados para a fabricação de circuitos integrados. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

CIRINO, Giuseppe Antonio. Caracterização de plasmas com a técnica de sonda eletrostática.. 1998. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.