Estudo do mecanismo de fotogravação em fotorresinas positivas utilizando-se exposições holográficas

• Processo: 98/15851-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 1999
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2003
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Áreas Clássicas de Fenomenologia e suas Aplicações
• Pesquisador responsável: Lucila Helena Deliesposte Cescato
• Beneficiário: Cristiano Monteiro de Barros Cordeiro
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Fotolitografia Holografia Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Componentes Opticos Difrativos | Filmes Finos | Fotolitografia | Fotorresinas | Holografia | Microlitografia

Resumo

O objetivo deste projeto de doutorado é o estudo dos fenômenos e mecanismos envolvidos no processo de foto-gravação em fotorresinas positivas visando se obter o controle dos parâmetros ópticos e geométricos das estruturas gravadas. A qualidade e controle da geometria das estruturas gravadas em relevo nas fotorresinas é fundamental para processos de micro-litografia e para a fabricação de componentes ópticos difrativos, além de se constituir num problema físico-químico muito interessante, envolvendo desde as mudanças nas propriedades ópticas dos filmes durante a exposição até as reações de dissolução das resinas em determinados solventes. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

CORDEIRO, Cristiano Monteiro de Barros. Mistura de ondas para caracterização de redes em relevo e materiais fotossensíveis. 2003. Tese de Doutorado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin Campinas, SP.