Influência de material de eletrodo nas características de processos de corrosão por plasma

• Processo: 98/15830-7
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 1999
• Data de Término da vigência: 31 de março de 2001
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Ronaldo Ruas
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Plasma (microeletrônica)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao Por Plasma | Espectrometria De Emissao | Materiais | Microeletronica | Plasma | Sondas De Langmuir

Resumo

Na literatura foi mostrado que o material da máscara influencia o plasma e a corrosão de silício por plasma usando gases fluorados. Neste trabalho será feito um estudo como o material do eletrodo influencia diferentes características físicas e químicas de plasmas e a corrosão de silício realizado por plasmas de SF6. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

RUAS, Ronaldo. Influência do material de eletrodo nas características de processo de corrosão por plasma.. 2001. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.