| Processo: | 95/04385-4 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Doutorado |
| Data de Início da vigência: | 01 de novembro de 1995 |
| Data de Término da vigência: | 30 de novembro de 1997 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Patrick Bernard Verdonck |
| Beneficiário: | Ronaldo Domingues Mansano |
| Instituição Sede: | Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Corrosão por plasma Micromáquinas |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Corrosao Por Plasma | Microcanais | Micromaquinas | Plasma Baixa Frequencia |
Resumo Neste trabalho estão sendo desenvolvidos processos de corrosão de silício por plasma que possam ser aplicadas na obtenção das trincheiros necessárias à fabricação de micro-maquinas. Estes processos devem ser compatíveis com os equipamentos de corrosão por plasma do nosso laboratório, e também compatíveis com processos de microeletrônica. (AU) | |
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