Projeto de um sensor de pressao integrado piezoresistivo utilizando tecnologia cmos e o pos-processamento.

• Processo: 97/14118-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de maio de 1998
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 1998
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Eletrônica Industrial, Sistemas e Controles Eletrônicos
• Pesquisador responsável: Edgar Charry Rodriguez
• Beneficiário: Juan Manuel Jaramillo Ocampo
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Sensores Sistemas microeletromecânicos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Piezoresistivo | Pos-Processamento | Sensor

Resumo

De acordo com a filosofia de Pós-processamento de lâminas fabricadas num processo C-MOS padrão[1-2], adotada pelo grupo do qual faz parte este trabalho[3], impõem-se certas restrições na fabricação do tipo de diafragma, como exemplo diafragmas circulares, ou alguma estrutura que permita submeter o dispositivo a altas temperaturas, etc.[4-5]. As estruturas desenvolvidas e o posicionamento dos piezos-resistores sobre elas influenciam as características do sensor. Isto pelo fato de que a sensibilidade é diretamente proporcional à variação fracional (ΔR / R0) das resistências e inversamente proporcional à pressão e a própria estrutura afeta a não-linearidade geométrica. A variação fracional das resistências é proporcional a geometria da membrana e ao esforço (estresse) que age sobre ela. Sendo assim, é necessário determinar a estrutura mais adequada e o leiaute ótimo para posicionar os piezos-resistores sobre a membrana, a fim de se obter os valores especificados pelo Instituto do coração do Hospital das Clinicas de São Paulo (ver Anexo B). As simulações com ANSYS[6], permitem encontrar os valores dos esforços por unidade de comprimento sobre o resistor ("estresse meio"), e com estes, calcular a sensibilidade. Após o projeto e fabricação, é necessário verificar o funcionamento do sensor e de acordo com os resultados obtidos, passar a caracterizar o mesmo ou reavaliar o projeto. E é este o trabalho a ser desenvolvido durante este ano. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

OCAMPO, Juan Manuel Jaramillo. Desenvolvimento de um microsensor de pressão intravascular utilizando pós-processamento.. 1999. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.