Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie

Autor(es)

Roberto Ribeiro Neli

• Tipo de documento: Dissertação de Mestrado
• Imprenta: Campinas, SP.
• Instituição: Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
• Data de defesa: 0000-00-00

Membros da banca

Ioshiaki Doi

• Orientador: Ioshiaki Doi
• Processo FAPESP: 99/11348-9 - Desenvolvimento de micro-estruturas mecânicas sobre o silício através de corrosão do substrato pela superfície
• Beneficiário: Roberto Ribeiro Neli
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado