Resumo
O projeto visa atualizar a infraestrutura laboratorial da Divisão de Materiais e Processos de Microeletrônica do LSI a fim de torná-la mais eficiente e menos sujeita a falhas. Pretende-se basicamente: a) instalar nova estação de limpeza de lâminas de silício (capela química +destilador +sistema de troca iônica + acessórios); b) ampliar e completar o sistema de detecção de gases; c) instal…