Resumo
O objetivo deste projeto é a otimização do processo de preparação de filmes de arseneto de gálio amorfo hidrogenados e não hidrogenados. Para isto será aperfeiçoada uma evaporadora flash existente. A hidrogenação será feita por bombardeio iônico, mediante a instalação de um canhão no sistema. Para estes estudos será necessária uma contínua realimentação entre as condições de deposição e a…