Resumo
Neste projeto de pós-doutoramento serão desenvolvidas atividades relacionadas com a caracterização mecânica e térmica dos filmes de carbono tipo diamante (DLC), com fins de verificar a viabilidade de sua utilização em micro-sistemas. Estas propriedades serão comparadas com as dos filmes tradicionalmente usados nos processos de micro-sistemas. Este material (DLC) foi escolhido devido as su…