Resumo
Neste projeto, são pretendidas a mudança e posterior utilização eficiente de um sistema LAM RESEARCH doado pela Motorola ao Centro de Componentes Semicondutores (CCS), UNICAMP, e que era utilizado para a corrosão por plasma de dispositivos semicondutores. Para que o processo de corrosão por plasma se torne mais eficiente, será necessária a mudança do modo de geração do plasma no reator do…