Resumo
A proposta do projeto de pesquisa consta do desenvolvimento de um processo para fabricação de placas contendo diversos bocais sônicos submilimétricos de diamante, com micro controle de abertura e fechamento seletivo, através de acionamento elétrico. Este tipo de dispositivo é genericamente conhecido como "Micro Electro Mechanical Systems" (MEMS) desde que envolve microfabricação e movimen…