Resumo
As técnicas de fabricação desenvolvidas para microeletrônica são utilizadas em outras áreas de aplicação, como sensores, micromáquinas e elementos microópticos. Em particular, a aplicação dessas técnicas em micro6ptica possibilita o desenvolvimento de elementos que apresentam novas e inusitadas propriedades ópticas e que dificilmente seriam implementados utilizando-se técnicas tradicionai…