Resumo
Um fator importante para utilização de microdispositivos (sensores e atuadores) é o conhecimento de suas propriedades mecânicas, elétricas e térmicas, bem como a compreensão dos mecanismos de falhas observados durante sua operação. Em trabalhos realizados recentemente na Escola Politécnica da Universidade de São Paulo, desenvolveu-se a produção e caracterização do comportamento mecânico d…