CV Lattes
Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). Centro de Ciências Exatas e de Tecnologia (CCET) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Possui graduação em Física pela Universidade Federal de Santa Catarina (1998), mestrado em Física pela Universidade Federal de Santa Catarina (2003) e doutorado em Física pela Universidade Federal de São Carlos (2008). Atualmente é professor adjunto da Universidade Federal de Uberlândia. Tem experiência na área de Física, com ênfase em Processos de Colisão e Interações de Átomos e Moléculas, atuando principalmente nos seguintes temas: método das ondas distorcidas, differential cross-sections, scattering, método variacional schwinger e total absorption cross section. (Fonte: Currículo Lattes)
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Neste estudo, propõe-se um estudo teórico de interação de elétrons de energias baixas e intermediárias (1-500 eV) com radicais livres CH2, SiH2, CF2, e SiF2. Esses radicais livres são resultados da interação de elétrons com moléculas do tipo CF4 e SiF4, que são largamente utilizadas no processamento de semicondutores por plasma. A presença destes radicais no plasma certamente alteraria as…
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