Resumo
Planejamos estudar os processos envolvidos em fabricação de dispositivos semicondutores, tais como fotolitografia e evaporação de filmes metálicos. Esses processos são considerados como uma parte de tecnologia "planar". Usando este procedimento vamos preparar estruturas a serem usadas em estudo de propriedades ópticas, principalmente - processos de propagação de modos coletivos tipo plasm…