Resumo
O presente trabalho pretende melhorar a performance dos defasadores em desenvolvimento no LME através da otimização mecânica destes RF MEMS. Para isso, a posição dos stoppers será variada para otimizar o deslocamento das tiras da camada de blindagem. Depois, o funcionamento RF dos dispositivos será otimizado e novos dispositivos serão enviados para foundry para fabricação. O pós-processam…