Resumo
Será estudada a corrosão química do silício, dependente da orientação cristalográfica, visando o controle e a determinação quantitativa dos efeitos de: bolhas, configuração de fluxo, adição de oxidantes, e proximidade de outros sólidos; em superfícies planas e em cavidades. A superfície do silício será imageada in-situ e em tempo real por microscopia óptica, e caracterizada ex-situ por mi…