Resumo
Este trabalho consiste no projeto, montagem e entrada em operação de um equipamento MOCVD visando a obtenção de filmes Finos micro/nanoestruturados. Após a conclusão do equipamento serão feitos testes sistemáticos variando-se os parâmetros de deposição de forma que conduzam à obtenção revestimentos sobre substratos mono e policristalinos. Os depósitos consistirão de filmes finos de TiO2, …