Resumo
Neste projeto de pesquisa pretende-se desenvolver processos de nanolitografia que utilizem a técnica de nanoimpressão para a construção de FinFETs. Os FinFETs têm sido apontados como sendo parte das novas gerações tecnológicas de transistores que permitirão que o comprimento de canal (distância entre os terminais fonte e dreno) de um transistor convencional passe de 90nm para a escala d…