Desenvolvimento de microsensores magnéticos tipo fluxgate em tecnologia planar

Resumo

Fluxgates são magnetômetros vetoriais com grande sensibilidade, perdendo somente para SQUIDs, mas operam à temperatura ambiente. Originalmente estes sensores foram desenvolvidos com tamanho e consumo energético incompatível com muitas tecnologias, limitando o seu uso. Para solucionar este problema alguns tiposde microfluxgates já foram propostos na literatura utilizando a tecnologia de filmes finos. Baseado em trabalhos anteriores onde foram obtidos os melhores parâmetros para a eletrodeposição de ligas de NiFe e NiFeCo este projeto propõem a construção de sensores funcionais utilizando tecnologia planar de modo a testar o material ferromagnético assim como os novos layouts propostos. Estes dispositivos primeiramente serão feitos ainda em escala macro por facilidade mas são, ao contráriodos macrofluxgates convencionais, diretamente escalonáveis. Depois de um estudo sistemático das características de cada sensor macro somente os que apresentarem melhor performance serão miniaturizados. (AU)