| Texto completo | |
| Autor(es): |
Cirino, Giuseppe A.
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Montagnoli, Arlindo N.
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Verdonck, Patrick
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Neto, Luiz G.
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Thienpont, H
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Mohr, J
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Zappe, H
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Nakajima, H
Número total de Autores: 8
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| Tipo de documento: | Artigo Científico |
| Fonte: | MICRO-OPTICS 2012; v. 8428, p. 9-pg., 2012-01-01. |
| Resumo | |
In certain applications of MOEMS devices, it is often necessary to produce microlens array structures that concentrate optical power in semiconductor photodetectors. In this work, the design and fabrication of a low f-number cylindrical microlens array is presented. The lenses were fabricated in thick photo resist - 12 mu m thick - using a contact printer exposure through a mask with a repetitive 6 mu m line - 4 mu m space pattern. The width of the resulting microlens array was determined to be 10 mu m, with f-number of 0.5. Numerical calculations based on scalar diffraction theory were employed to model the light propagation inside the resist, determining the aerial image as a function of its thickness. Than the resist response characteristics, expressed by its contrast curve, and absorption rate were used to obtain a cross section profile. A good match between numerical and experimental results were found. (AU) | |
| Processo FAPESP: | 00/10181-2 - Elemento óptico difrativo que realiza a modulação complexa completa de uma frente de onda por intermédio de variações nas aberturas de uma camada metálica refletora depositada sobre um substrato óptico de espessura variável |
| Beneficiário: | Luiz Gonçalves Neto |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Programa de Apoio à Propriedade Intelectual (PAPI/Nuplitec) |
| Processo FAPESP: | 08/57858-9 - Instituto Nacional de Óptica e Fotônica |
| Beneficiário: | Vanderlei Salvador Bagnato |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Temático |
| Processo FAPESP: | 00/11117-6 - Filmes de carbono tipo diamante (DLC - Diamond Like Carbon) para aplicações ópticas, aeronáuticas e mecânicas |
| Beneficiário: | Ronaldo Domingues Mansano |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Programa de Apoio à Propriedade Intelectual (PAPI/Nuplitec) |