Projeto emergencial - Tecnologia HBIFET: processo e caracterização

• Processo: 97/07421-7
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 1997
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 2000
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Marcio Alberto Araujo Pudenzi
• Beneficiário: Marcio Alberto Araujo Pudenzi
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Espectrometria de massas Microeletrônica Semicondutores
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao | Espectrometria De Massa | Microeletronica | Semicondutores

Resumo

Projeto emergencial para compra de bombas de vácuo turbo-moleculares, associado ao Projeto Temático FAPESP: Eng. Elét. 92/3453-8 - "Tecnologia HBIFET: Processo e caracterização". (AU)